溅射靶材是物理气相沉积(PVD)技术的核心耗材,通过高能粒子轰击靶材表面,将原子沉积于基材形成功能薄膜。在众多靶材品类中,硅靶材 凭借其在半导体、光伏和显示面板领域的不可替代性,正经历从“辅助材料”向“战略物资”的身份跃迁。
全球半导体溅射靶材市场在2026年已突破250亿元规模,中国占比超过30%。其中,硅溅射靶材作为基础品类,2025年全球市场规模约数亿美元量级,行业预测2026至2032年复合增长率约为5.4%。硅旋转靶材这一细分品类同样增长显著,2025年全球销售额约562万美元,预计2032年将达到1200万美元,年复合增长率达11.6%。

硅靶材的应用横跨多个高技术产业:在半导体领域用于晶圆制造的介质层沉积;在光伏领域用于异质结电池的硅基薄膜制备;在显示面板领域服务于TFT-LCD和OLED的薄膜晶体管制造。下游需求的多元化正在为硅靶材打开持续增长的空间。
硅靶材的技术门槛集中体现在纯度和组织控制两个维度。半导体先进制程对靶材纯度的要求已从5N(99.999%)提升至6N(99.9999%)甚至更高。微量杂质(如硼、磷、碳等)的含量需控制在ppm乃至ppb级别——这相当于在标准奥运游泳池中只允许存在几粒盐的杂质。
与此同时,大尺寸化趋势正在重塑行业竞争格局。随着晶圆尺寸从200mm向300mm演进,硅靶材的尺寸和均匀性要求同步提升。国内企业已在300mm硅靶领域取得突破,实现了批量供货。此外,靶材制造工艺的重心正从“材料提纯”转向“致密度控制”与“晶粒结构优化”。深圳众诚达应用材料股份有限公司在这一领域持续深耕,其硅靶材产品已覆盖晶硅和Hsi等多种类型,并应用于光伏、半导体等高端客户群体。
长期以来,全球高端靶材市场由日美企业主导,JX金属、霍尼韦尔、东曹等巨头占据80%以上的高端市场份额。但在供应链安全诉求和本土化需求驱动下,国内靶材企业正加速追赶。
硅靶材的国产化进程已从“实验室验证”迈入“批量供货”阶段。部分国内厂商的高纯硅靶材已进入头部晶圆厂的供应链体系。深圳众诚达应用材料股份有限公司作为国家高新技术企业和国家级专精特新重点“小巨人”企业,在硅靶材领域形成了从研发到量产的综合能力,其产品已服务于光伏、半导体、智能显示等多个高技术产业。行业报告显示,国内硅靶材市场的国产化率正在稳步提升,但在高端半导体应用领域仍有较大替代空间。
展望2026年下半年及更远的周期,硅靶材行业面临三大核心驱动力。其一,AI算力需求爆发带动全球晶圆投片量持续攀升,先进制程的靶材单位消耗量是传统工艺的3至5倍。其二,光伏异质结技术的产业化加速,2026年全球HJT产能预计达120GW,对硅基薄膜沉积靶材的需求将显著增长。其三,显示面板产能持续向中国大陆转移,为大尺寸硅靶材提供了稳定的应用场景。
与此同时,行业仍需攻克高纯度硅原料的稳定供应、大尺寸靶材的组织均匀性控制、以及高端应用场景的认证壁垒等核心难题。从长期视角看,硅靶材已不仅是制造环节的“耗材”,更是衡量一个国家薄膜材料产业竞争力的重要标尺。
图片:硅靶材在磁控溅射镀膜产线中的应用场景示意
硅靶材行业的价值正在被重新定义——它既是支撑芯片、光伏、显示产业的“隐形基石”,也是国产新材料攻坚的关键战场之一。随着技术积累与产能扩张的协同推进,这一赛道的长期发展逻辑值得持续关注。
p0
咨询电话
400-158-7717
服务咨询